射频体声波滤波器（BAW）芯片广泛应用于移动通信、蓝牙、WiFi等无线通信领域，当前的射频声学滤波器市场规模约为150亿美元，随着5G的推广应用，其年复合增长率将超过30%，预计2024年将达到180亿美元。我国是智能手机制造大国，BAW滤波器芯片作为半导体领域的高端核心产品，在手机产业链具有举足轻重的地位。BAW滤波器也是科技日报明确的50项卡脖子技术第6项技术，该市场长期被美国和日本企业垄断。

图1 浙江大学科创中心射频MEMS芯片项目组开发的BAW滤波器晶圆实物图

近日，浙江大学杭州国际科创中心、射频电路与系统教育部重点实验室联合宣布，基于双方联合团队自主开发的BAW滤波器技术体系，成功研发出两款5G通信用的BAW滤波器芯片（N42频段和N79频段），并在通用半导体生产线上实现量产。这两款BAW滤波器性能指标明显优于国际最新的同类产品指标，处于国际领先水平，特别是N42频段的BAW滤波器芯片带内最小插损达到1.1dB，带外抑制大于30dB；N79频段的BAW滤波器芯片带内最小插损达到1.07dB，且带内损耗均低于2dB，带外损耗大于28dB。此两款BAW滤波器芯片可用于5G通信移动终端、5G小基站等场景。同时，其功率容量也满足5W基站需求。上述芯片已经通过某移动通信公司测试评估认可，并进入准入测试认证阶段。

图2 N42频段的BAW滤波器芯片测试结果

图3 N79频段的BAW滤波器芯片测试结果

未来，上述联合团队将继续致力于开发满足更多无线通信应用需求的BAW滤波器芯片，实现更高性能、高频段、大带宽、大功率，助力国产滤波器产业发展及壮大。